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南充高速真空镀膜装置 VPC

时间:2022-08-24 17:48 来源:网络整理 转载:长梧兰七网
高速真空镀膜装置VPC-1100昆山熙日机械设备有限公司为你详细介绍高速真空镀膜装置VPC-1100的内容,包括高速真空镀膜装置VPC-1100的用途、型号、范围、****、评论

高速真空镀膜装置 VPC-1100

VPC系列/高速真空镀膜装置




特 性在管架上紧密安装了油扩散泵、油旋片真空泵、皮拉尼真空计、真空管、电力系统、压力测量口等必要机器,并且配备了钟罩升降装置,是电阻加热式高速型真空蒸发装置。使用与保养检修很简单,Z适合用于大基板****的基础研究开发等实验。 应 用电子材料、半导体、太阳能电池的基础研发。EL 有机层薄膜研发。

规格参数

型 号

VPC-1100

真空性能

极限压力

4.0 × 10-4Pa
1.3 × 10-4Pa (使用液氮时)

排气时间

4.0 × 10-3Pa/10min 
10-3Pa/10min (使用液氮时)

真空舱

钟罩****

玻璃钟罩 (直径390mm × 350mm(H))

馈通圈

20个****(14侧面、6底面)

标准基板Z大****※1

□50mm □220mm(Z大)

供电系统

蒸发电极结构

3点式

蒸发电源

SEREM “PSE-150C”,0 – 10V ,150A (Z大)

排气系统

主泵※2

油扩散泵(水冷) 1100 L/sec

液氮冷阱

前级泵

油旋片真空泵 100 L/min ×2

油雾过滤器

可选

操作系统

主阀门

瓣阀

副阀门

三向切换阀

自动渗漏阀

可选

控制

手动控制

控制系统

皮拉尼真空计

GP-1G

电离真空计

可选

外形

****(主体)

1235mm(W) × 836mm(D) × 2155mm(H)

****(蒸发电源)

安装在设备的主体

重量(主体)

313kg

重量(蒸发电源)

安装在设备的主体

※1: 不考虑基板Z大****时的膜厚分布值。
※2: 可以安装涡轮分子泵(TMP)。

条件

型 号

VPC-1100

电源需求

主体

三相, 200V, 5.0kVA

主体

单相, 100V, 1.0kVA

接地端子D级(接地抗阻/100Ω 或更低)

附件

主体 : 三相,200V

乙烯绝缘软电缆(R3.5-4帯端子) 4m

主体 : 单相,100V

乙烯绝缘软电缆(带插头) 4m

用水需求1.5L/min(水温:低于20-25℃,水压:200kPa)

附件Rp1/4 (带"Kantouch"软管接头)

推荐软管蒂托轮编织软管(内径9mm×外径15mm)

 冷却水管由客户自己准备。

外形图

VPC-1100

蒸发电源 SEREM

馈通圈

标准构造


[1]挡板[2]过滤器[3]备用(L)[4]备用 (S)[5]测压孔1[6]真空密封口3个[7]开闭器[8]电极COM[9]电极 1[10]电极 2[11]电极 3[12]支柱

根据研究和开发的目的、可以变更。

可 选 部 件
有丰富的真空泵及真空设备的选项配件。



真空泵

真空泵油 (SMR-100 / MR-200 / SO-M / R-2 / R-7)油旋片真空泵的专用油

油雾过滤器 (OMT)用来防止从油旋片真空泵的排气口中流出油烟

直线过滤器 (OMI)用来防止从排气口中流出油烟以及用来连接排气管道

油雾过滤器接口用来变换真空泵排气口的螺丝直径

油雾分离器 (OMC)用来防止从耐腐蚀性油旋片真空泵的排气口中流出油烟

吸气口过滤器 (OFI)用来防止油反向扩散/粉状体和液状体混入

真空泵吸排气过滤器 (SGT)既可以设置在真空侧也可以设置在排气侧的过滤器

适配器用来变换真空泵吸气口的直径

橡胶真空软管真空泵与容器等连接用的管道

油旋片真空泵吸排气管用来变换真空泵吸气口及排气口的直径

波尔登压力计表示绝对压力的模拟真空计

设备

DEPOX (VFR / VWR / VTR / VTS) 真空镀膜机蒸发装置的定制商品

VPC-1100 高速真空镀膜机蒸发装置的定制商品

VPC-260F 真空镀膜机蒸发装置的定制商品

真空排气装置排气装置的定制商品


真空連接用零件

卡箍/中心环/无孔法兰/喷嘴/接管/ T型接头/ 十字接头/变径接头/KF 法兰/测量计接口/渗漏阀/VCR 接口/弯管真空泵与真空机器的管道零件

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